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本文標題:"微電子結(jié)構(gòu)焊點或結(jié)晶檢測顯微鏡"

新聞來源:未知 發(fā)布時間:2013-4-16 1:11:22 本站主頁地址:http://www.bailemeng6.cn

微電子結(jié)構(gòu)或結(jié)晶檢測顯微鏡

錫有面心立方的晶構(gòu),有非等方向性的屬性。
例如:它的導電性是非等方向性的。在錫變成Cu-Sn或Ni-Sn 介金屬化合物時,介金屬化合物也有非等向性的晶構(gòu)。

因為那表示在TSV晶片上大量的微凸塊,每一個微凸塊的屬性都有可能不同。從可靠度的角度來說,
在失效統(tǒng)計上,這可說是很大的因素。因此有些微凸塊會發(fā)生早期故障(early failure)。
所以控制每片TSV晶片上的微凸塊的微電子結(jié)構(gòu)或結(jié)晶是很重要的,為了在其中得到一致的微電子結(jié)構(gòu)。然而,在TSV晶片上有成百或上千個微凸塊,這將會是一個挑戰(zhàn)。 

  為了使微凸塊內(nèi)部介金屬化合物有方向性成長以及轉(zhuǎn)變成均勻的微結(jié)構(gòu),
焦點集中在微凸塊里的介金屬化合物和如何控制它們的形成。 

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