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本文標題："CCD采集成像搭配顯微高解析度光學目鏡-精密雕刻"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2013-9-14 12:26:58 本站主頁地址：http://www.bailemeng6.cn
CCD采集成像搭配顯微高解析度光學目鏡-精密雕刻
提供了一種新的結(jié)合影像采集與激光雕刻系統(tǒng)的光學架構(gòu)，
目標在于改良傳統(tǒng)激光雕刻系統(tǒng)的光學架構(gòu)，提供同步且精準的影像對位功能。
其作用方式為利用CCD影像采集成像方式，事先采集工件的影像，
獲得與雕刻解析度相當?shù)墓鈱W影像，以設定工作區(qū)域的大小與位置，并據(jù)以精密校準工件工作區(qū)域的3D位置。
如此，傳統(tǒng)上因目視校正所造成的誤差可大幅減小，
且可避免多次的嘗試錯誤，并可快速定位，大幅降低尋找與對位工作區(qū)域的時間。
應用激光雕刻系統(tǒng)原理并改良傳統(tǒng)激光雕刻系統(tǒng)的光學架構(gòu)。
其工作概念原理為結(jié)合小型Galvo-mirror暨共焦成像方式，
再配合高精密度Projection Lens結(jié)合4f 系統(tǒng)與高數(shù)值孔徑(Numerical Aperture)
物鏡且大面積掃描特性，以此系統(tǒng)可及時定位雕刻工件的顯微影像，
其顯微解析度最小可小于1.0μm。如此，將傳統(tǒng)激光雕刻系統(tǒng)雕刻大范圍改良至高解析度的顯微雕刻系統(tǒng)。
顯微雕刻系統(tǒng)有二：
(一)飛秒激光顯微雕刻系統(tǒng)。(二) 奈秒激光顯微雕刻系統(tǒng)。
使用Multi-Wall Carbon Nanotube當做sample，
并配合SEM(掃描式電子顯微鏡)比較飛秒激光與奈秒激光做顯微雕刻時
所產(chǎn)生不同的激光與物質(zhì)交互作用而所產(chǎn)生的不同結(jié)果。
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