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本文標(biāo)題："電子顯微鏡適合研究微電子學(xué)觀察各種樣品表面起伏"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2014-4-22 13:04:02 本站主頁(yè)地址：http://www.bailemeng6.cn
電子顯微鏡適合研究微電子學(xué)觀察各種樣品表面起伏
干涉反差在千涉反差光學(xué)系統(tǒng)( 洛馬斯基系統(tǒng)) 中采用分像器和偏振光，被
觀察物的像分裂為兩半，每半各被相反極化
極化像對(duì)應(yīng)部分間光路長(zhǎng)度之差產(chǎn)生一定的橢圓偏振光，并在被觀察樣品放
大像上呈現(xiàn)一定的色彩，此色彩隨這個(gè)差別的大小而發(fā)生變化。
這種技術(shù)對(duì)微電子學(xué)領(lǐng)域來(lái)說(shuō)在觀察各種樣品表面起伏圖形是極其靈敏的方
法。干涉反差在決定表面是否存在凸起或凹陷，以及用其它光照方法無(wú)法觀察出
來(lái)的表面起伏圖形的細(xì)節(jié)都很有用。
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