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本文標題："減小薄膜厚度和顆粒尺寸機械分析顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2016-8-27 19:12:32 本站主頁地址：http://www.bailemeng6.cn
減小薄膜厚度和顆粒尺寸機械分析顯微鏡
目前，人們深入研究了薄膜中納米顆粒對薄膜機械性質的影響
。一般采用減小薄膜厚度和顆粒尺寸的方法來提高機械性質�？梢�
簡單地理解為，薄膜機械性質得到提高是因為納米晶體的晶界和缺
陷相對較少。但在滲透閾值處，顆粒狀陶瓷合金的機械性質表現(xiàn)出
不連續(xù)性，如離散顆粒結構的硬度測量值變大了。在滲透閾值上下
處其機械性質不同，是因為在閾值以上晶體內的位錯可沿著滲透通
道連續(xù)移動，而在閾值以下位錯的移動被限制在納米顆粒內。
然而，為了實現(xiàn)一些新的應用，同時也為了在納米尺度上對納
米復合材料更有效地建模，必須認識納米顆粒的機械性質。盡管，
測量單個納米顆粒的機械性質時所面臨的困難是顯而易見的，但是
人們正在這方面取得進步。人們已經確定了納米材料楊氏模量、可
壓縮性等機械性增強方面的理論基礎。該理論基礎顯示，當
納米材料的尺寸小于20nm時，其機械性能會急劇增強（如銅），尺
寸約小于5nm時速度進步加快。
測量結果表明，當半徑為20~ 50nm時，硅納米顆粒的硬度約為
其大塊硅顆粒硬度的5倍；并且通過依次地測量發(fā)現(xiàn)因位錯在顆粒
內部的累積，硬度會繼續(xù)增加
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