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本文標題："電子束高斯平面像上形成最小彌散斑直徑會越大"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2016-10-27 0:32:19 本站主頁地址：http://www.bailemeng6.cn
電子束高斯平面像上形成最小彌散斑直徑會越大
透鏡孔徑半張角
掃描電鏡透鏡半張角是影響其電子束束斑直徑的關鍵因素之一
．其對色差、球差和衍射效應形成的擴散斑直徑都會有重要影響。
半張角越�。渖詈颓虿罹拖鄳叫�；．在相同的束流大小和電
子槍亮度的情況下．半張角越�。娮邮诟咚蛊矫嫦裆闲纬傻淖�
小彌散斑直徑就會越大．從而顯著降低其最終分辨率。因此．要想
得到最小束斑直徑，必須平衡各種影響。選擇一個合適的半張角。
表1．1為不同球差系數(shù)和加速電壓下．理論計算的最佳半張角值
。 (1)單電子激發(fā)。入射電子和固體內電子碰撞．使其發(fā)生電
離或激發(fā)到真空能級；即價電子激發(fā)和內層電子激發(fā)。受激的價電
子可以成為游離態(tài)的自由電子．二次電子中的絕大部分是由它們組
成。金屬和半導體的價電子也可以從導帶中較低的能態(tài)躍遷到較高
的空態(tài)．稱作帶內躍遷；或是從價帶躍遷到導帶．稱為帶間躍遷，
產生電子一空穴對。內層電子受激脫離束縛能，留下空穴．對具有
三能級以上原子，會或發(fā)生俄歇躍遷．發(fā)射俄歇電子；碰撞過程中
，產生價電子激發(fā)的概率遠遠大于內層電子激發(fā)的概率。一般來說
，在價電子激發(fā)過程中，入射電子的能量損失相對于其能量來說較
小．發(fā)生大角度散射的概率也很小，因此價電子激發(fā)不會使入射電
子的方向發(fā)生顯著變化。內殼層電子激發(fā)中盡管可能有大的能量損
失，但其電離截面很�。蚨闺娮影l(fā)生大角度散射的概率也不大
。
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